近日，重組后的miDALIX d.o.o. 發(fā)布了最新款光刻機(jī)DaLI-A。DaLI-A相比原型號(hào)Proto Laser LDI，在固件和軟件上均做了升級(jí)，產(chǎn)品的性能更穩(wěn)定、技術(shù)更先進(jìn)、應(yīng)用表現(xiàn)更優(yōu)異。

DaLI-A產(chǎn)品外觀圖

DaLI-A是一臺(tái)桌面化的小型設(shè)備，占地?。卉浖詣?dòng)化控制，用戶(hù)操作省心便捷。

DaLI無(wú)掩膜納米光刻機(jī)采用了超越光刻技術(shù)極限的亞納米級(jí)AOD激光操控技術(shù)，光斑定位精度可達(dá)0.1nm。

DaLI擁有的整機(jī)恒溫系統(tǒng)，控溫精度可達(dá)±0.1℃，這將設(shè)備所有部件的溫差形變和熱漂移降到最低，從而實(shí)現(xiàn)真正的高精度光刻。

DaLI無(wú)掩膜納米光刻機(jī)適用的光刻膠種類(lèi)很多，如各種I線光刻膠：AZ系列正膠、SU-8系列負(fù)膠等。無(wú)論厚膠還是薄膠，DaLI在應(yīng)用中都能表現(xiàn)出色。

目前，DaLI-A應(yīng)用的領(lǐng)域有：微機(jī)電系統(tǒng)加工、微流控芯片制作、微納器件加工、光學(xué)微透鏡與光波導(dǎo)加工、原型機(jī)設(shè)計(jì)以及構(gòu)建其他特殊結(jié)構(gòu)等等。

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