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DaLI系列無掩膜納米光刻機(jī)

品牌：miDALIX

型號：DaLI

產(chǎn)地：歐洲

用途：基于無掩膜光刻技術(shù)的各種微納加工

主要特點(diǎn)：采用AOD激光操控技術(shù)，光斑定位精度優(yōu)于1nm，高精度套刻對準(zhǔn)，結(jié)構(gòu)邊緣超平滑，可輕松構(gòu)建1微米以下線寬結(jié)構(gòu)。

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先進(jìn)的AOD激光操控技術(shù)，使得DaLI具有超高的激光定位精度（優(yōu)于1nm），半永久性的有效壽命，以及極高的穩(wěn)定性。DaLI主要適用于廣泛應(yīng)用于MEMS、材料科學(xué)、微流控、微光學(xué)器件及其它微納加工領(lǐng)域。（此為進(jìn)口光刻機(jī)，咨詢國產(chǎn)光刻機(jī)請撥打產(chǎn)品熱線）